ໂຄງສ້າງຂອງເຊັນເຊີ piezoresistive

ໃນເຊັນເຊີນີ້, ເສັ້ນລີ້ນຂອງຜູ້ຫຼິ້ນແມ່ນປະສົມປະສານໃນຂະບວນການເຊື່ອມໂຍງ monocrystalline ໂດຍ chip piezoresistal monocrystalline, ແລະ periphery ຂອງ chip ໄດ້ຖືກຫຸ້ມຫໍ່ຢູ່ໃນຫອຍ, ແລະການນໍາທາງ electrode ຖືກນໍາອອກ. ເຊັນເຊີຄວາມດັນທີ່ມີຄວາມກົດດັນ piezoresistive ເປັນເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນຂອງລັດແຂງ, ເຊິ່ງຕ້ອງການໃຫ້ຮູ້ສຶກວ່າມີຄວາມຮູ້ສຶກໂດຍກົງໂດຍກົງຜ່ານຄວາມກົດດັນດ້ານການວັດແທກ, ແຕ່ໂດຍກົງ

ດ້ານຫນຶ່ງຂອງນ້ໍາຊ້ຽມໃນຊິລິໂຄນແມ່ນຢູ່ຕາມແຄມທາງສູງທີ່ມີການສື່ສານກັບຄວາມກົດດັນທີ່ວັດແທກ, ແລະອີກດ້ານຫນຶ່ງແມ່ນຢູ່ຕາມລໍາດັບຄວາມດັນຕ່ໍາທີ່ຕິດຕໍ່ສື່ສານກັບບັນຍາກາດ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ນ້ໍາຊ້ຽມທີ່ໃຊ້ຊິລິໂຄນຖືກອອກແບບເປັນວົງກົມທີ່ມີເສັ້ນຜ່າກາງທີ່ມີຄວາມຫນາແລະອີກສອງເສັ້ນຢູ່ໃນເຂດຄວາມຫນາແລະມີຄວາມນັບຖືກ່ຽວກັບຈຸດໃຈກາງຂອງຝາອັດປາກມົດລູກ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ຍັງມີໂປແກມ Silicon Diaphragragm ແລະ Solicon Sensor Squumon. ເຊັນເຊີທີ່ມີຮູບຊົງກະບອກຄວັນນ້ໍາຊິລິໂຄນຍັງຖືກທໍາລາຍໂດຍການແຜ່ກະຈາຍຂອງຍົນ crystal ຂອງ silicon, ແລະເສັ້ນດ່າງຄວາມກົດດັນທີ່ທົນທານແລະມີສອງເສັ້ນດ່າງທີ່ມີຄວາມທົນທານ.

Sensor Piezoresistive ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ຜະລິດໂດຍການຕໍ່ຕ້ານການແຜ່ກະຈາຍໃນຊັ້ນຂອງວັດຖຸ semiconductor ອີງຕາມອຸປະກອນ piezonoresistive ຂອງ semiconductor. ຊັ້ນໃຕ້ດິນຂອງມັນສາມາດໃຊ້ໄດ້ໂດຍກົງເປັນແກັບວັດແທກໂດຍກົງ, ແລະຄວາມຕ້ານທານການແຜ່ກະຈາຍແມ່ນເຊື່ອມຕໍ່ໃນຊັ້ນໃຕ້ດິນໃນຮູບແບບຂອງຂົວ.

ໃນເວລາທີ່ substrate ໄດ້ຖືກພິການໂດຍຜົນບັງຄັບໃຊ້ພາຍນອກ, ມູນຄ່າການຕໍ່ຕ້ານຈະປ່ຽນແປງແລະຂົວຈະຜະລິດຜົນໄດ້ຮັບທີ່ບໍ່ສົມດຸນ. ຊັ້ນໃຕ້ດິນ (ຫຼືຝາອັດປາກມົດລູກ) ໃຊ້ເປັນແກັບ piezoresistive ແມ່ນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຊິມດອກໄຟແລະດອກໄຟຂອງເຢຍລະມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ Silicon. Silicon Piezoresistive ຂອງ Waffers ທີ່ເຮັດດ້ວຍຕົວອັກສອນທີ່ລະອຽດອ່ອນທີ່ໄດ້ດຶງດູດຄວາມສົນໃຈຫຼາຍຂື້ນ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນເຊັນເຊີ piezoresistive ແຂງແຮງສໍາລັບຄວາມກົດດັນແລະຄວາມໄວແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຫຼາຍທີ່ສຸດ.