ໂຄງສ້າງຂອງເຊັນເຊີ Piezoresistive

ໃນເຊັນເຊີນີ້, ແຖບຕົວຕ້ານທານແມ່ນປະສົມປະສານຢູ່ໃນ diaphragm ຊິລິໂຄນ monocrystalline ໂດຍຂະບວນການປະສົມປະສານເພື່ອເຮັດໃຫ້ຊິບ piezoresistive ຊິລິໂຄນ, ແລະດ້ານຂ້າງຂອງຊິບນີ້ໄດ້ຖືກຫຸ້ມຫໍ່ຢ່າງແຫນ້ນຫນາຢູ່ໃນແກະ, ແລະຕົວນໍາຂອງ electrode ຖືກນໍາອອກໄປ. ເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນ Piezoresistive, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າເຊັນເຊີຄວາມດັນຂອງສະພາບແຂງ, ​​ແມ່ນແຕກຕ່າງຈາກເຄື່ອງວັດແທກຄວາມເຄັ່ງຕຶງຂອງກາວ, ເຊິ່ງຈໍາເປັນຕ້ອງຮູ້ສຶກວ່າກໍາລັງພາຍນອກໂດຍທາງອ້ອມໂດຍຜ່ານອົງປະກອບທີ່ລະອຽດອ່ອນ elastic, ແຕ່ມີຄວາມຮູ້ສຶກໂດຍກົງກັບຄວາມກົດດັນທີ່ວັດແທກຜ່ານ diaphragm ຊິລິໂຄນ.

ດ້ານໜຶ່ງຂອງຝາອັດປາກມົດຊິລິໂຄນເປັນຮູທີ່ມີຄວາມກົດດັນສູງຕິດຕໍ່ສື່ສານກັບແຮງດັນທີ່ວັດແທກໄດ້, ແລະອີກດ້ານໜຶ່ງແມ່ນຮູທີ່ມີຄວາມກົດດັນຕໍ່າຕິດຕໍ່ກັບບັນຍາກາດ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ແຜ່ນ silicon diaphragm ໄດ້ຖືກອອກແບບເປັນຮູບວົງມົນທີ່ມີ periphery ຄົງ, ແລະອັດຕາສ່ວນຂອງເສັ້ນຜ່າກາງກັບຄວາມຫນາແມ່ນປະມານ 20 ~ 60. ສີ່ແຖບຕ້ານ impurity P ໄດ້ຖືກກະຈາຍຢູ່ໃນທ້ອງຖິ່ນກ່ຽວກັບ diaphragm Silicon ເປັນວົງແລະເຊື່ອມຕໍ່ເຂົ້າໄປໃນຂົວເຕັມ, ສອງອັນ. ແມ່ນຢູ່ໃນເຂດຄວາມກົດດັນບີບອັດແລະອີກສອງອັນແມ່ນຢູ່ໃນເຂດຄວາມກົດດັນ tensile, ເຊິ່ງມີຄວາມສົມມາດກັບສູນກາງຂອງ diaphragm.

ນອກຈາກນັ້ນ, ຍັງມີ diaphragm silicon ສີ່ຫຼ່ຽມມົນແລະເຊັນເຊີຖັນ silicon. ເຊັນເຊີກະບອກຊິລິຄອນຍັງເຮັດດ້ວຍແຖບຕ້ານທານໂດຍການແຜ່ກະຈາຍໃນທິດທາງທີ່ແນ່ນອນຂອງຍົນໄປເຊຍກັນຂອງກະບອກສູບຊິລິໂຄນ, ແລະແຖບຕ້ານທານຄວາມກົດດັນ tensile ສອງແຖບແລະແຖບຕ້ານທານຄວາມກົດດັນສອງອັນປະກອບເປັນຂົວເຕັມ.

ເຊັນເຊີ Piezoresistive ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ຜະລິດໂດຍການຕໍ່ຕ້ານການແຜ່ກະຈາຍຢູ່ໃນຊັ້ນໃຕ້ດິນຂອງວັດສະດຸ semiconductor ອີງຕາມຜົນກະທົບ piezoresistive ຂອງວັດສະດຸ semiconductor. substrate ຂອງມັນສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໂດຍກົງເປັນເຊັນເຊີວັດແທກ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານການແຜ່ກະຈາຍແມ່ນເຊື່ອມຕໍ່ຢູ່ໃນ substrate ໃນຮູບແບບຂອງຂົວ.

ໃນເວລາທີ່ substrate ຖືກ deformed ໂດຍຜົນບັງຄັບໃຊ້ພາຍນອກ, ຄ່າຄວາມຕ້ານທານຈະມີການປ່ຽນແປງແລະຂົວຈະຜະລິດຜົນຜະລິດທີ່ບໍ່ສົມດຸນທີ່ສອດຄ້ອງກັນ. ແຜ່ນຍ່ອຍ (ຫຼື diaphragms) ທີ່ໃຊ້ເປັນເຊັນເຊີ piezoresistive ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ silicon wafers ແລະ germanium wafers. ເຊັນເຊີ piezoresistive Silicon ທີ່ເຮັດດ້ວຍ silicon wafers ເປັນວັດສະດຸທີ່ລະອຽດອ່ອນໄດ້ດຶງດູດຄວາມສົນໃຈຫຼາຍຂຶ້ນ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນເຊັນເຊີ piezoresistive ຂອງລັດແຂງສໍາລັບການວັດແທກຄວາມກົດດັນແລະຄວາມໄວແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງທີ່ສຸດ.